告别“卡脖子”！河南院士研发“中国靶”让日本靶材降价80% _知识百科

大河报采访人员樊雪婧摄影张琮
近两日，郑州大学何季麟院士带队研发的“平板显示用高性能ITO靶材关键技术及工程化”项目荣获2020年度国家技术发明奖二等奖。消息发出，让这个突破“卡脖子”技术的“中国靶”备受关注。
“中国靶”长啥样？它有啥大能量？我们在生活中，能不能遇见它？11月5日，大河报采访人员走进郑州大学先进靶材中心，寻找“中国靶”的出生故事。
【先来认识这位靶材大咖】
走进郑州大学先进靶材中心，大厅最显眼处的展示台上，一块不起眼的炭黑色长方形板块站在C位，身旁还展示着它的名片——ITO靶材。
想弄清楚这位大咖的身世？先来说说ITO 。ITO ，氧化铟锡，这对有色金属届的“CP” ，组合前是黄绿色的粉末，将它俩按照严格的比例混合、压型，制成灰绿色的素胚，放到特制的烧结炉内，经过1700摄氏度左右高温，变身为黑灰色的陶瓷半导体。
（氧化铟、氧化锌粉末， ITO靶材展示，通讯员张宁供图）
这就是那块炭黑色的长方形板块了，等它变身薄膜后就能大显神通：导电，透光，还隔离对人体有害的电子辐射、紫外线及远红外线。
正因如此，它成为了平板显示制造中的“不二人选” 。可一大块像钢板一样沉甸甸的“大家伙” ，咋能变成屏幕玻璃后的肉眼不可见的膜，要知道， ITO膜的厚度仅有30纳米到200纳米。
原来，它先被制作成标准尺寸的固体靶材，由磁控溅射高速撞击，将其气化溅镀到玻璃基板上，形成膜状的“涂装” 。
我们生活中的电视机、电脑显示器、平板电脑、手机屏幕后，都有ITO靶材的身影，不仅如此，它还活跃在太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀膜等领域，在全球拥有广泛的市场。
（实验室的实验器材，通讯员张宁供图）
【“中国靶”问世，可替代进口】
在实验室里，采访人员见到了大小尺寸不同的ITO靶材，通常靶材尺寸越大，溅射到平板上的拼缝就越少，价值也越高。
但有小到大，却不是一件容易的事。正是因为烧不出大尺寸的ITO靶材，我们被“卡脖子”了很多年。
中国是铟资源大国，但80%靶材市场被日韩垄断，不仅平板显示产业仰人鼻息， ITO高端靶材价格也要“看人脸色” 。以往靶材价格高达每公斤8000元，如今价格跌至每公斤1300元， 80%的降幅正得益于“中国靶”的问世。
“ITO靶材制备自主体系的建立牵系着占全球65%新兴显示产业的安全，但曾经，中国ITO靶材的研发滞后20年。”提起过去，中国工程院院士、郑州大学材料学院院长何季麟有些痛心。
为何选择这一领域？何季麟院士的回答很明确：“国家战略需要！”
“在上世纪末，我们便关注ITO靶材的研发，经过20余年的科技攻关，实现了从无到有、自主研发再到并跑超越，打破了国外技术封锁，凭借自主创新力量实现了大尺寸ITO靶材全流程制备的国产化。”
据了解，何季麟院士团队创新发明了ITO靶材粉体制备、素坯注浆成形、无压氧气氛烧结与靶坯绑定——关键技术体系，建立了ITO靶材制备新型工艺流程，形成了完善的全流程工艺装备体系及控制标准，实现了ITO靶材粉末冶金技术的创新应用，其技术指标达到了国际先进水平。该技术突破性解决了高性能ITO靶材制备全流程工序的关键技术与装备“卡脖子”问题，填补了国内空白。

以上关于本文的内容，仅作参考！温馨提示：如遇专业性较强的问题（如：疾病、健康、理财等），还请咨询专业人士给予相关指导!

「辽宁龙网」www.liaoninglong.com小编还为您精选了以下内容，希望对您有所帮助：