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【晶圆贴膜时蓝膜起皱的原因】晶圆贴膜时蓝膜起皱的原因可能是膜的表面粗糙、蓝膜的张力不足等,建议进行更换 。晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅 。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅 。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆 。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主 。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1片或多片晶圆 。随着半导体特征尺寸越来越小,加工及测量设备越来越先进,使得晶圆加工出现了新的数据特点 。
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