【晶圆上的模具标记是什么】

文章插图
晶圆上的模具标记是为了区分各个晶圆,利用激光轰击晶圆,在晶圆表面上形成晶圆标记 。以用于在各片晶圆之间进行区分,通过不同的晶圆标记识别不同的晶圆 。标准的晶圆标记,是在晶圆表面向下形成圆形形状的凹坑,并且凹坑的边缘会由于激光能量的作用在晶圆表面形成向上的凸起 。晶圆标记的监控方法,主要是通过扫描晶圆标记的波形信号,量测晶圆标记对应波形信号的峰值和谷值,从而监控激光能量大小,但是无法确定晶圆标记的形状以及光路方位是否异常 。

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