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【icrd和华虹集团的关系】icrd是华虹集团旗下的，icrd是指上海集成电路研发中心 ， 其采用北方华创NMC612D电感耦合等离子体刻蚀机等国产设备，完成了14nm鳍式晶体管自对准双重图形相关工艺的自主开发，各项工艺指标均已达到量产要求 ， 在集成电路14nm核心工艺技术上取得了重大进展 。上海华虹（集团）有限公司（简称“华虹集团”）是现代化的以集成电路芯片设计制造为核心、以提供系统集成方案为目的的企业集团公司 。其经营范围有芯片制造、芯片设计、系统及应用服务、工艺研发等 。
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