空气洁净技术的应用与发展_上_许钟麟( 三 )


空气洁净技术的应用与发展_上_许钟麟
1. 半导体
20世纪50年代末,当时苏联要求的最高洁净度为含尘量0.00036mg/m3, 相

于0.5μm
1~10万级(209E标准,下同);
20世纪六七十年代,中小规模集成电路,0.5μm100级;
20世纪70年代末,大规模集成电路,0.5μm10级;
20世纪80年代末,超大规模集成电路,0.5μm1~0.1级(或0.1μm10级);
20世纪90年代末,超大规模集成电路,0.5μm0.1级或0.1μm 10~1级;
本世纪初,超大规模集成电路, 0.1μm1~0.1级;
本世纪第一个十年,超大规模集成电路,0.1μm0.1级;
图3是用我给出的分式计算出的集成电路成品率与洁净度级别的关系 。
毋庸置疑,电子产业方面对洁净室的要求仍然占有主导地位,对洁净度级别的要求仍然最高 。2007年3月包括中国在内的8国投票通过了ISO14644-9表面洁净度标准提案(见
27.
Observe
观察/专家论坛
表5 表面洁净度分级国际标准需我在此多说了 。
2. 医药
非典以后我们应反思的最重要一点就是过去在医院建筑上生命微粒,建设者和设计者大多只看到“建筑”,而忽视“空气”,医护人员只重视接触感而后者更具暴发性、大面积和低感染剂量的特点,因而更具危险性 。例如吃进1亿个兔热杆菌才感染,若吸入10~50个就发热;吸入腺病毒的半数感染剂量仅是组织培养的半数感染剂量的一半 。对于Q 热立克次氏体,只要在呼吸道内沉着1个,就可以让人感染 。过去有一种看法,认为非常厉害的绿脓杆菌是不太可能通过空气传播的,但是在烧伤病房顶棚灰尘中以及有人多次在该病房空气中检出绿脓杆菌的事实,令人对空气传播的危险性“刮目相看”了 。现在SARS 病毒的气溶胶传播特性又兼有血液
图 3 成品率与洁净度的关系
早产儿保育室等等;
护理单元系统——如重病护理单元,脏器移植护理单元、心血管病护理单元等;
空气洁净技术的应用与发展_上_许钟麟
治疗操作系统——如介入治疗室、白血病人治疗室、传染病人尸体
实验室系统——如特殊化验室、生命科学实验室等,而且需要更重要的生物安全系统;
仪器室系统——如精密的新型的仪器室等;
隔离室系统——如疑似传染病人隔离室、观察室等;
配药系统——如特殊的配药中心等;
洁净辅助用房系统——如无菌敷料室、一次性物品室、中心供应站等;
非洁净辅助用房系统——如污染处理室、污物通道等,这里要实行污染控制,防止传染外界;
准洁净用房系统——如候诊厅、治疗室、检查室、某些科的诊断室等使用普通空调的用房 。
关于制药领域,由于强制推行GMP 制度,空气洁净技术在这一领域的发展是不言而喻的,这里先不谈 。
【空气洁净技术的应用与发展_上_许钟麟】3. 生物领域
生物是怎样衍生繁殖的?这个亘古以来的宇宙之谜,被沃森与克里克在1953年发表的一篇文章揭开,于
染而轻视气溶胶传播的呼吸道感染,解剖室等;
的接触传播特性,加上其未知性,使人们真正看清了空气洁净技术在医院建筑中的重要性,可以说,没有空气洁净技术装备的医院建筑,将是落
表5) 。
今天对于洁净室来说已经有了像微粒、分子态污染物和表面洁净度三个控制标准 。当然,洁净度不能无限制地提高下去,洁净室内的尘粒不能无止境地降低下去,在有更高的要求时,应采取局部隔离技术,这一点无


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